Load Lock 傳遞桿

Load Lock 傳遞桿

1‧CF35法蘭連接口徑。
2‧可做上下動作，基板不用另做接收動作。
3‧移動距離可訂做。
4‧馬達作動，移動穩定。
5‧真空可達10^-8 Torr。